三協示教器OP5000維修

 

三協示教器OP5000維修

 

三協示教器OP5000維修

 

      半導體晶圓傳送設備通常由傳送帶、引導片和傳感器等組成，其中傳送帶可以將晶圓有效地傳送到目的地，引導片可以自動檢測晶圓是否適合傳送，保證晶圓在傳送過程中能夠穩(wěn)定運行，而傳感器則可以實時監(jiān)控物料的位置、速度和數量，確保物料的準確傳送。

 

       半導體機械手、半導體機器人，硅片機器人、硅片機械手等，均指半導體晶圓傳輸機器人。重點用在半導體工藝設備和Foundry廠等，典型應用如蝕刻機、光刻機、薄膜沉積設備（PVD、CVD）、晶圓清洗設備、CMP設備、離子注入機、檢測設備（ATE、探針臺、分選機）、涂膠顯影機、晶圓片鍵合機、去膠設備和顯影設備等。