布魯克斯BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器

       BROOKS 001-4130-03是一款晶圓搬運(yùn)機(jī)械手控制器,設(shè)計(jì)目的是通過高精度的定位和校準(zhǔn)技術(shù)來確保晶圓的位置及方向準(zhǔn)確從而為后續(xù)工序提供保障,對(duì)準(zhǔn)時(shí)間可達(dá)1秒以內(nèi)。

BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器可同時(shí)控制多個(gè)機(jī)器人軸,滿足復(fù)雜運(yùn)動(dòng)需求。支持多種編程語(yǔ)言,如梯形圖、語(yǔ)句表等,方便用戶自定義控制邏輯。

布魯克斯BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器

BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器具有以下特點(diǎn):

高精度采用高精度伺服電機(jī)和編碼器,可提供精確的晶圓位置和角度控制,誤差范圍可達(dá)微米級(jí),并且可檢查晶圓是否存在缺陷。

高可靠性采用冗余設(shè)計(jì),包括雙重電源和雙重通信鏈路,可確保即使在單個(gè)組件發(fā)生故障的情況下也能正常工作。提供故障自診斷功能,可以監(jiān)測(cè)系統(tǒng)健康狀況,并提供故障排除信息,簡(jiǎn)化維護(hù)流程,幫助用戶快速發(fā)現(xiàn)和解決問題。

易于使用提供直觀的圖形化界面和易用的編程工具,可簡(jiǎn)化操作和維護(hù)。支持多種通信協(xié)議,包括 Modbus TCP/IP、profinet、Profibus、EtherCAT、CANopen,可輕松連接到現(xiàn)有的控制系統(tǒng)。

布魯克斯BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器

Brooks 001-4130-03 可用于各種半導(dǎo)體制造工藝,包括但不限于

晶圓清洗在晶圓清洗過程中,可用于搬運(yùn)和定位晶圓,并確保清洗效果均勻;

光刻在光刻過程中,精確對(duì)準(zhǔn)晶圓和光掩??纱_保電路圖案在曝光期間正確轉(zhuǎn)移到晶圓上,并確保曝光精度;

蝕刻在蝕刻過程中,將晶片對(duì)準(zhǔn)掩模,以便在蝕刻過程中選擇性去除材料,并確??涛g均勻性;

薄膜沉積在薄膜沉積過程中,將晶片對(duì)準(zhǔn)掩模,以控制材料的沉積,并確保沉積均勻性。

計(jì)量將晶圓與測(cè)量工具對(duì)齊,以進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制。

還有晶圓切割、金屬化、擴(kuò)散、離子注入……

布魯克斯BROOKS 001-4130-03晶圓對(duì)準(zhǔn)控制器

Brooks 001-4130-03規(guī)格參數(shù):

類型: 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手控制器

精度±5 μm

搬運(yùn)速度最高可達(dá) 1 m/s

負(fù)載能力5 kg

工作溫度0°C 至 +50°C

防護(hù)等級(jí)IP65

通信接口RS-232、RS-485、EthernetS

尺寸500 mm x 400 mm x 300 mm

重量20 kg