Kawasaki川崎2KW伺服電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156
川崎晶圓搬運機器人占據(jù)了全球晶圓搬運機械人51%以上的市場份額。
川崎伺服電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156參數(shù):
功率:2.0KW
轉(zhuǎn)速:3000 min-1
在晶圓切片,晶圓測試、固圓、導線架等工藝時使用二氧化碳雪清洗,可以去除各種污染物。半導體CO2清洗單元使用了川崎機器人與隆深機器人合資的隆崎機器人明星產(chǎn)品SCARA機器人KLS600,配合高精度、高品質(zhì)核心零部件,保證了設備的穩(wěn)定運行??蛇m用于3C、半導體行業(yè),解決了半導體行業(yè)消耗品成本高,清洗效率低等問題。
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